안녕하세요.

(주) 동원엔텍, 조보배 사원입니다.

현재 탄소나노튜브(CNT) 합성을 위한 CVD 실험을 준비 중이며, 이에 필요한 가스 공급부의 제작 또는 구입을 검토하고 있습니다. 아래와 같은 사양에 따라 장비 구성 가능 여부 및 견적을 문의드립니다.

1. 기체 공급기 (Gas Supply System)

용도

- 탄소 전구체 공급용: 메탄(CH₄), 에탄(C₂H₆), 부탄, 아세틸렌(C₂H₂), 에틸렌(C₂H₄), 일산화탄소(CO), 이산화탄소(CO₂), 벤젠, 톨루엔, 자일렌, 사이클로헥산, 알코올류 등

- 분위기 기체 공급용: 질소(N₂), 아르곤(Ar), 수소(H₂) 등

공급 속도 : 0.01 ~ 100 lpm

수량: 총 2대

2. 질량 유량 조절기 (Mass Flow Controller, MFC)

용도

- 탄소 전구체용 MFC

- 분위기 기체용 MFC

- 촉매가스용 MFC

유량 범위: 0.01 ~ 100 lpm

수량: 총 3대

3. 기화기 (Vaporizer)

적용 가스: Fe(CO)₅, Mo(CO)₅, CO₂(CO)₈, (C₂H₅)₂Fe, Ni(CO)₅, Ferrocene 등 

공급 속도: 0.01 ~ 100 lpm

수량: 총 1대

4. 참고사항

CNT 합성 반응로 온도 범위: 400~2000°C

시스템 전체에 대한 통합 제어 기능 및 인터페이스(PC 또는 터치패널) 제안 환영

설치 공간에 대한 사양서 및 필요 부속품 안내 요청

5. 요청사항

장비별 상세 사양서 및 카탈로그

품목별 단가, 납기 일정 포함된 견적서

유지보수, A/S 조건 및 납품 실적 안내

이와 관련하여 추가 협의가 필요하신 경우 언제든 연락 부탁드립니다.

감사합니다.

(주) 동원엔텍

TEL : 052 - 249 - 8230