¾È³çÇϼ¼¿ä ÇѼ־ÆÀÌ¿ø½º ±â¼ú¿¬±¸¼Ò Çöö¹Î ¼±ÀÓÀÔ´Ï´Ù. ·¦½Ç»çÀÌÁîÀÇ ¿øÇüÆ©ºê·Î CVD °ßÀûÀ» ¿äûµå¸®°íÀÚ ¿¬¶ôµå·È½À´Ï´Ù. MAX temp. 1400(1600¡É) »ç¿ë °¡½º : H2, CH4, Ar, N2 »ç¿ë ¸ñÀû : ³»ÇöóÁ ¼ÒÀç °³¹ß °³¹ß ¼ÒÀç : SiC ´ëü ¼ÒÀç Carbide °è ¹°Áú(TaC, WC, B4C µî...) |