¾È³çÇϼ¼¿ä ÇѼ־ÆÀÌ¿ø½º ±â¼ú¿¬±¸¼Ò Çöö¹Î Ã¥ÀÓÀÔ´Ï´Ù. Gas cabinet °ü·ÃÇÏ¿© °ßÀûÀ» ¿äûµå¸®·Á ¿¬¶ôµå·È½À´Ï´Ù. »ç¿ë °¡½º : CH4, H2 ¸ñÀû : CH4¿Í Àü±¸Ã¼¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Metal carbide °è ÁõÂø ¸ñÀû °øÁ¤ Á¾·ù : Thermal-CVD °øÁ¤ è¹ö Å©±â : lab sizeÀÇ 2-zone ÆÛ´Ï½º °ü·Ã ³»¿ë ¸ÞÀÏ·Î °ßÀûÀ̳ª ±âŸ °ü·Ã ³»¿ë ÁÖ½Ã¸é ´äº¯µå¸®°Ú½À´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù. |