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견적요청
  서울시 관악구 관악로1 서울대학교 30동 102호
  2017-05-04 15:51:13   309
  플라즈마 응용 연구실
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안녕하세요 서울대학교 플라즈마 응용연구실의 박사과정 진영길이라고합니다. 저희는 플라즈마 소스를 활용해 다양한 공정 설계 및 진단을 하고 있습니다. 그중 고밀도 플라즈마를 이용해 특정 금속 샘플에 장시간 플라즈마를 인가하는 실험이 수행되고 있는데, 해당 금속 샘플에 전기적인 바이어스를 걸수 있으면서 동시에 온도 조절을 위한 냉각기능이 있는 타겟을 설계하여 사용하고 있습니다. 헌데 현재 사용하는 구조가 사용성이 불편하고 높낮이 조절기능이 없어 제약이 많습니다. 따라서 위의 세가지 기능이 가능하면서 사용성이 편리한 타겟구조를 상담요청드리고 제작하고자합니다. 현재 사용하고 있는 타겟의 구조를 샘플로 첨부하였습니다.

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